?臺(tái)積電18廠用再生水陳美伶：符合先進(jìn)制程所需

臺(tái)積電南科先進(jìn)制程新廠，首度將再生水運(yùn)用工業(yè)生產(chǎn)引發(fā)疑慮，國(guó)發(fā)會(huì)主委陳美伶表示，已借由督導(dǎo)平臺(tái)關(guān)注，為配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求，再生水標(biāo)準(zhǔn)符合南科相關(guān)先進(jìn)制程所需。

陳美伶同時(shí)強(qiáng)調(diào)，一旦有異常情況會(huì)啟動(dòng)緊急供水措施，對(duì)于制程及良率將有更高保障。

臺(tái)積電晶圓18廠落腳南科，政府承諾會(huì)穩(wěn)定供應(yīng)水電，提出運(yùn)用再生水方案，由于目前半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)都是用純水，臺(tái)積電晶圓18廠使用再生水，市場(chǎng)關(guān)注是否會(huì)影響晶圓廠的生產(chǎn)品質(zhì)與良率。

國(guó)家發(fā)展委員會(huì)主委陳美伶接受中央社記者訪問時(shí)表示，各項(xiàng)產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)用水需配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求，對(duì)于南科先進(jìn)制程用水需求及標(biāo)準(zhǔn)，討論使用再生水時(shí)即與用水端商議過供水品質(zhì)及標(biāo)準(zhǔn)，以兩段式RO（逆滲透）作為供水規(guī)劃，相關(guān)水質(zhì)應(yīng)可符合南科相關(guān)先進(jìn)制程所需。

陳美伶解釋，去年就已成立的“南科先進(jìn)制程環(huán)境建置案進(jìn)度督導(dǎo)平臺(tái)”，是針對(duì)整個(gè)臺(tái)南科學(xué)園區(qū)的先進(jìn)制程成立，跨中央相關(guān)部會(huì)及臺(tái)南市政府，主要是解決影響產(chǎn)業(yè)經(jīng)營(yíng)的關(guān)鍵問題。

陳美伶說，為協(xié)助業(yè)者排除投資障礙，行政院長(zhǎng)賴清德主持多次加速投資臺(tái)灣專案會(huì)議，就是為解決目前產(chǎn)業(yè)遇到的問題，除了南科先進(jìn)制程，目前也針對(duì)中科園區(qū)議題解決處理中。

此外，南科管理局副局長(zhǎng)蘇振綱受訪時(shí)指出，南科先進(jìn)制程不只臺(tái)積電部分，也有許多廠商需要使用到再生水，在會(huì)議中也針對(duì)這項(xiàng)議題協(xié)調(diào)處理，確保廠商使用需求。

蘇振綱說，針對(duì)廠商遇到的產(chǎn)業(yè)需求，從去年下半年就陸續(xù)召開會(huì)議并追蹤進(jìn)度，因?yàn)橄冗M(jìn)制程廠商都是臺(tái)灣重大投資，除搜集廠商需求細(xì)節(jié)，也需要掌握進(jìn)度，與中央部會(huì)與地方政府間進(jìn)行協(xié)調(diào)。

臺(tái)積電5納米新廠晶圓18廠，是全球第一家進(jìn)入5納米制程的晶圓廠，資本投資新臺(tái)幣5000億元，計(jì)劃在2020年投入生產(chǎn)。

臺(tái)積電3納米、5納米廠先后確定落腳南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)，面對(duì)水、電需求，臺(tái)南市政府先在去年4月啟用曾文凈水場(chǎng)，每天增加2萬噸供水，也將永康污水處理廠升級(jí)再生水廠，預(yù)計(jì)2020年，每天可供應(yīng)1.5萬噸工業(yè)用水。